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全新半導體工業(yè)檢測產(chǎn)品——AWL系列晶圓檢查系統(tǒng)，兼具穩(wěn)定性和安全性，能夠安全可靠的傳送晶圓，適合于前道到后道工程的晶圓檢查。
主要技術參數(shù)：
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型號 |
AWL046 |
AWL068 |
AWL812 |
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晶圓尺寸 |
100mm / 150mm |
150mm / 200mm |
200mm / 300mm |
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晶圓最小厚度 |
150um |
150um / 180um |
180um / 250um |
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晶舟類型 |
Open Cassette |
Open Cassette / FOUP、FOSB |
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檢查模式設置 |
全檢 / 奇數(shù)檢 / 偶數(shù)檢 / 手動選擇 |
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晶舟掃描（有 / 無 / 斜片） |
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晶舟內凸片偵測報警 |
≥4mm |
≥5mm |
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晶圓預定位（平邊、Notch） |
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朝向設置（平邊、Notch） |
非接觸式定位平邊、Notch，支持0°、90°、180°、270°朝向設置 |
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檢查功能 |
晶面宏檢（旋轉）、晶背宏檢1（外圈、旋轉）、晶背宏檢2（中心） |
晶面宏檢（旋轉）、晶背宏檢1（外圈）、晶背宏檢2（中心） |
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外觀尺寸（W*D*H） |
1450*700*1600mm |
1550*700*1600mm |
2400*1400*2450mm |
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電源需求 |
1P / 220V / 10A |
1P / 220V / 16A |
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真空需求（負壓 / 正壓） |
-70KPA ～ -80KPA |
-70KPA ～ -80KPA / 0.5MPA |
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適用顯微鏡 |
6RC/8RC金相顯微鏡 |
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光學系統(tǒng) |
無限遠色差校正光學系統(tǒng)，放大倍率50X-1000X |
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觀察方式 |
明場、暗場、偏光、DIC |
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目鏡 |
高眼點大視野平場目鏡PL10X22mm，可帶視度可調，可帶測微尺 |
高眼點大視野平場目鏡PL10X25mm，可帶視度可調，可帶測微尺 |
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觀察頭 |
鉸鏈三目觀察筒，5-35度傾角可調，正像，瞳距調節(jié)范圍：50-76mm，兩檔式分光比，雙目：三目=100：0，0：100 |
鉸鏈三目觀察筒，0-35度傾角可調，正像，瞳距調節(jié)范圍：50-76mm，兩檔式分光比，雙目：三目=100：0，0：100 |
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物鏡 |
長工作距平場明暗場半復消色差金相物鏡 5X / 10X / 20X / 50X / 100X |
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轉換器 |
明暗場6孔電動轉換器（帶DIC插槽） |
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機架 |
反射式機架，前置低手位粗微同軸調焦機構，粗調行程35mm，微調精度0.001mm，帶有防止下滑的松緊調節(jié)裝置和隨機上限位裝置，內置100-240V寬電壓系統(tǒng) |
明暗場反射照明器，帶視場光闌，可變電動孔徑光闌，帶明暗場切換裝置，帶濾色片插槽與偏光裝置插槽，帶12V10W LED光源控制部件 |
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明暗場反射照明器，帶視場光闌，可變電動孔徑光闌，帶明暗場切換裝置，帶濾色片及偏光裝置插槽，帶12V10W LED燈箱 |
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載物臺 |
6英寸機械移動平臺，低手位X、Y方向同軸調節(jié)，晶圓承片臺臺面φ38mm，可360°旋轉，移動行程228mm(X方向)×170mm（Y方向），觀察范圍：170mmX170mm，帶離合器手柄 |
8英寸機械移動平臺，低手位X、Y方向同軸調節(jié)，晶圓承片臺臺面φ60mm，可360°旋轉，移動行程280mm（X方向）×210mm（Y方向），觀察范圍：210mm×210mm，帶離合器手柄 |
12英寸自動平臺，X、Y、Z、φ多方向調節(jié)，晶圓承片臺臺面φ70mm，可360°旋轉，移動行程600mm（X方向）×500mm（Y方向），觀察范圍：310mm×310mm，φ方向可±5度旋轉，各軸運動速度可以高低速切換 |
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其他 |
濾色片插板、起/檢偏鏡插板、DIC組件、攝像接口、調整平臺、相機、專業(yè)晶圓檢查軟件等 |
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